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技术支持：上海瓷熙仪器仪表有限公司
| ● 量程精度：1% | ● 重复性：0.2% |
| ● 量程比：100:1 | ● 底座材质：316L |
| ● 流量范围：2ml~3000L/min | ● 标定气体：氮气 |
| ● 工作温度：0-70℃ | ● 耐压：3MPA |
| ● 信号：RS-485 / PROFIBUS | ● 类型：数字型、模拟型（选配） |
| ● 适用介质：压缩空气、氢气、氩气、氮气、二氧化碳、氦气、氧气、氨气、各类保护气体等惰性气体。 | |
| ● 应用场景：电子工艺设备，如扩散、外延、CVD、氧化、等离子刻蚀、溅射、离子注入；以及镀膜设备、光纤熔炼、微反应装置、混气配气系统、毛细管测量、气相色谱仪及其他分析仪器。 | |
服务承诺： 一年保质 产品终身服务 7X24小时服务 服务随叫随到
销售热线：182-2103-2874
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微小气体质量流量计是一款既可以显示体积流量，也可以显示质量流量，用于对气体的质量流量进行精密测量和控制。它们在半导体和集成电路工业、特种材料学科、化学工业、是有工业、医药、环保和真空灯多种领域的科研和生产中有着重要的作用。其典型的应用场合包括：电子工艺设备，如扩散、外延、CVD、氧化、等离子刻蚀、溅射、离子注入；以及镀膜设备、光纤熔炼、微反应装置、混气配气系统、毛细管测量、气相色谱仪及其他分析仪器。
产品实拍图
高精度、重复性好，信号稳定
数字信号，数据可以链接电脑数据导出
预热时间短、领漂小
不受安装方位的影响
体积小、安装简单、使用方便
| 型号 | MFM-F1 | MFM-F2 | MFM-F3 | MFM-F4 | MFM-F5 | MFM-F6 | MFM-F7 |
| 流量范围 | 0~10ml/min | 10ml/min~30L/min | 30~150L/min | 150~250L/min | 300~1000L/min | 1000~2000ml/min | 2000~3000ml/min |
| 准确度 | 1.5%F.S | ||||||
| 线性 | 0.5~1.5%F.S | ||||||
| 重复精度 | ±0.2%F.S | ||||||
| 响应时间 | 电特性：10sec 液特性：（1~4）sec | ||||||
| 工作压差 | 工作压差 0.1~0.5MPa | ||||||
| 耐压 | 3MPa | ||||||
| 工作环境温度 | 0~70℃ | ||||||
| 数字量 | RS485 MODBUS 协议模拟量 | 模拟量 | DC 0~5V | ||||
| 供电 | DC +15V，流量计＜400mA | ||||||
| 电气连接 | DB15 | ||||||
| 漏率 | 1×10^-8 SCCSHe | ||||||
| 底座材质 | 316L不锈钢 | ||||||
| 密封材质 | 氟橡胶，丁晴橡胶，氯丁橡胶 | ||||||
| 气路接头 | Φ 3，Φ 6，Φ 10，G1/8,G1/4，G3/8 | ||||||
| 与计算机连接 | 开机操作之后，通过RS485与计算机通讯，之后在计算机上将设定值调到零，再开气，待零点稳定后，再通过计算机将设定值调到需要的流量值，则实际流量值会跟随设定值而变化。 |
| 加装过滤器 | 气体质量控制使用气体必须净化，切忌粉尘、液体和油污。必要时加装过滤器，如果流量计出口接有液体源瓶，应在流量计出口加装单向阀，防止液体回流损坏流量计。 |
| 安装位置问题 | 本控制器安装时*好保持安装面水平，但对位置并不特别敏感，可以任意位置安装，非水平位置安装时若发现零点偏移，可以调整零点后在工作。 |
| 阀口密封问题 | 质量流量控制器的电磁阀是调节阀, 不是截止阀, 不能当截止阀使用, 用户应另配截止阀。特别是用户使用腐蚀性气体，通常应该在质量流量控制器进出气口各加一个截止阀，以保证工作安全。长期工作后, 如果控制器阀口的漏气率在2%F.S以内, 是属于正常情况。如果漏气大于满量程的2%, 则应进行维修。 |
| 标定与不同气体的换算 | 本流量质量控制器出厂通常用氮气(N2)标定。如果要求用使用气体标定，需要在订货时与销售人员特别申明。 用氮气标定的流量控制器用户使用其它气体时，可以通过附录的转换系数进行换算。 |
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