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气体质量流量控制器(MFC)是如何工作的?

维护保养
2026-06-30 15:02:05
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气体质量流量控制器(MFC)是如何工作的?

GN Instruments的气体质量流量控制器采用热式原理。传感器探头由速度传感器和温度传感器组成。

具体工作方式为:电路将速度传感器加热到高于气体温度的一个常数值,然后测量气体流过时的冷却效果。保持恒温差所消耗的电功率与气体的质量流量成正比,由此计算出流量。

GN Instruments的MFC精度达±1%F.S.,重复精度±0.2%F.S.,响应时间1-4秒,流量范围覆盖0~3000SLM。


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