基于热导原理的真空测量设备，适用于中低真空范围的精确测量，响应速度快，稳定性好。
测量范围覆盖1.0×10⁻¹ Pa 至 1.0×10⁵ Pa（空气/N₂），适用于多种真空工艺段。
同时提供RS485（Modbus RTU）数字通讯与2.286V~10.0V模拟量输出，方便系统集成。
探头可承受最高150°C烘烤（金属法兰型可达250°C），适用于需要高温烘烤的真空系统。
配备顶部校准按钮，可在大气压或高真空条件下进行快速自动校准，操作简便。
CX-PRN10皮拉尼真空计采用皮拉尼（热导）测量原理，适用于干燥空气或氮气环境下的中低真空度测量。该产品结构紧凑，安装方便，提供模拟量与数字量双重输出，可便捷地集成到各类真空控制系统、PLC或上位机软件中。
覆盖从低真空（100Pa）至中真空（0.1Pa）的广泛量程，满足大多数工业真空应用需求。
响应时间约100毫秒，能及时反映真空系统的压力变化。
同时具备线性模拟电压输出与标准Modbus RTU数字通讯，提供灵活的集成方案。
皮拉尼真空计基于气体热导率随压力变化的原理工作。规管内的加热灯丝在真空环境中散热条件发生变化，通过测量灯丝电阻或温度的变化，即可计算出对应的气体压力。该原理对于氮气、干燥空气等常见气体具有良好的测量一致性。
产品支持一键式大气压与高真空零点校准。校准时需确保真空计处于稳定的校准环境（大气或低于5.0×10⁻² Pa的高真空），按住顶部校准按钮超过3秒，LED指示灯闪烁三次即表示校准完成。
注意： 出厂时已使用干燥空气/氮气进行校准。若测量其他气体，读数需根据气体种类进行换算。
PRN10通过一个FCC-68型8针接口进行供电与信号连接。
| 针脚号 | 定义 | 说明 |
|---|---|---|
| 1 | +24VDC | 电源正极（5-24VDC） |
| 2 | 电源GND | 电源负极 |
| 3 | 测量信号 | 模拟电压输出（2.286-10.0V） |
| 4 | 27KΩ 识别电阻 | 真空计识别 |
| 5 | 信号地 | 模拟输出参考地 |
| 6 | 空脚 | 保留未用 |
| 7 | RS485 Data- (B) | Modbus数据负线 |
| 8 | RS485 Data+ (A) | Modbus数据正线 |
模拟输出电压（U）与压力（P）呈对数关系：
U = c + 1.286 × lg(P) 或 P = 10(U - c)/1.286
其中常数 c 取决于压力单位：Pa（c=3.572），mBar（c=6.143），Torr（c=6.304）。
PRN10支持标准Modbus RTU协议，方便与PLC、工控机或真空控制器（如WGC150）集成。
| 寄存器地址 | 长度 | 内容描述 |
|---|---|---|
| 01 | 2字 | 规管1真空度（科学计数法ASCII格式） |
| 11 | 2字 | 规管1真空度（32位浮点数格式） |
| 41 | 1字 | 校准命令寄存器（写1：规管1大气校准；写2：规管1零点校准） |
注意： 具体功能取决于实际产品配置，编程时请参考完整协议文档。
PRN10系列皮拉尼真空计提供标准配置，同时支持多种定制选项，满足不同真空系统的连接和功能需求。
| 型号 | 连接法兰 | 信号输出 | 供电范围 | 校准方式 | 防护等级 |
|---|---|---|---|---|---|
| CX-PRN10-KF16 | DN16 ISO-KF | RS4850-10V | 5-24VDC | 按键校准 | IP40 |
| CX-PRN10-CF35 | DN35 CF | RS4854-20mA | 24VDC | 按键校准 | IP40 |
| CX-PRN10-KF16-M | DN16 ISO-KF | RS485 | 5-24VDC | 软件校准 | IP40 |
| CX-PRN10-KF16-A | DN16 ISO-KF | 0-10V | 5-24VDC | 按键校准 | IP40 |
| CX-PRN10-KF40 | DN40 ISO-KF | RS4850-10V | 5-24VDC | 按键校准 | IP40 |
注：以上为常用标准型号，我们可根据客户需求提供定制化服务，包括特殊法兰接口、输出信号类型、供电电压等。
PRN10系列支持多种真空法兰连接方式，适应不同真空系统的安装需求：
| 法兰类型 | 标准尺寸 | 密封方式 | 适用压力范围 | 应用场景 |
|---|---|---|---|---|
| ISO-KF | DN16, DN25, DN40 | 弹性体密封圈 | 10⁻¹ ~ 10⁵ Pa | 中小型真空系统，实验室设备 |
| CF法兰 | DN35, DN50 | 金属密封（铜垫圈） | 10⁻⁷ ~ 10⁵ Pa | 高真空、超高真空系统 |
| 螺纹接口 | G1/4", G3/8" | 锥面密封或垫圈 | 10⁻¹ ~ 10⁵ Pa | 小型设备，空间受限场合 |
| 快卸法兰 | 定制尺寸 | 弹性体密封圈 | 10⁻¹ ~ 10⁵ Pa | 需要频繁拆卸的系统 |
根据不同控制系统需求，PRN10系列提供多种信号输出方式：
| 信号类型 | 输出范围 | 精度 | 负载能力 | 通讯协议 |
|---|---|---|---|---|
| 模拟电压 | 2.286 ~ 10.0 VDC | ±2.5 mV | 最小10Ω | - |
| 模拟电流 | 4 ~ 20 mA | ±0.1% FS | 最大500Ω | - |
| 数字通讯 | RS485电平 | - | 32个节点 | Modbus RTU |
| 开关量输出 | 继电器触点 | - | 30VDC/1A | - |
根据不同应用环境和介质特性，PRN10系列提供多种接触介质材质选择：
| 材质代码 | 材质名称 | 特性 | 适用环境 |
|---|---|---|---|
| SS304 | 304不锈钢 | 良好的耐腐蚀性，经济实用 | 一般工业环境，非腐蚀性气体 |
| SS316L | 316L不锈钢 | 优异的耐腐蚀性，低碳含量 | 腐蚀性环境，高纯度应用 |
| AL | 铝合金 | 轻量化，导热性好 | 对重量敏感的应用 |
| Kovar | 可伐合金4J50 | 与玻璃匹配封接，低热膨胀 | 需要玻璃-金属封接的场合 |
选择合适的PRN10型号时，请参考以下应用建议：
| 应用场景 | 推荐型号 | 主要理由 |
|---|---|---|
| 实验室真空系统 | CX-PRN10-KF16 | 标准配置，性价比高，兼容大多数实验室设备 |
| 半导体工艺设备 | CX-PRN10-CF35 | CF法兰，适合高真空环境，减少污染 |
| 工业过程控制 | CX-PRN10-KF16-M | Modbus通讯，便于集成到PLC/DCS系统 |
| 简单监测应用 | CX-PRN10-KF16-A | 模拟量输出，接线简单，成本较低 |
| 较大流量系统 | CX-PRN10-KF40 | 大尺寸法兰，减少流阻，提高响应速度 |
温馨提示：如果您不确定如何选择合适的型号，我们的技术团队可以提供免费的选型咨询服务。请提供您的应用场景、真空范围、安装接口和控制系统类型等信息。
| 测量范围 | 0.1~1E+5Pa |
|---|---|
| 重量 | 150g |
| 防护等级 | IP40 |
| 最大耐压 | 1.5×10⁵ Pa |
| 响应时间 | 100 ms |
| 精度 | 1.0×10⁻¹ ~ 1.0×10⁰ Pa：±30% 1.0×10⁰ ~ 1.0×10⁴ Pa：±20% 1.0×10⁴ ~ 1.0×10⁵ Pa：±50% |
| 重复性 | 1.0×10⁻¹ ~ 1.0×10³ Pa：±2% 1.0×10³ ~ 1.0×10⁵ Pa：±5% |
| 供电电源 | +5VDC 至 +24VDC / 0.5A（通过RJ45接口 |
| 最大功耗 | 1.5W |
| 防护等级 | IP40（IEC 529） |
| 连接法兰 | 默认：DN 16 ISO-KF（可根据需求定制） |
| 接触介质材质 | SS304, SS316L, Kovar 4J50，灯丝，馈通玻璃 |
注：以上参数为标准配置，可根据客户需求定制特殊规格产品。
PRN10皮拉尼真空计适用于多种需要监测中低真空环境的工业与科研场合。
用于PVD/CVD、刻蚀、离子注入等设备的工艺腔室压力监控。
冻干机、真空干燥箱、灭菌柜等设备的真空度测量与控制。
真空蒸馏、过滤、脱气等化工过程的压力监测。
电池注液、真空封装等工序的真空环境保障。
真空手套箱、实验型镀膜机、真空炉等科研设备的压力测量。
真空包装机、真空浸渍设备、真空热处理炉的配套监控。
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