基于电容原理的真空测量设备，适用于中高真空范围的精确测量，抗干扰能力强。
采用陶瓷薄膜电容传感技术，测量精度可达±0.25%读数
陶瓷材料与氟橡胶密封，适用于多种工艺环境
机械形变传感原理，测量结果不受气体种类影响
响应时间<10ms，实时监测真空变化
CFG500系列薄膜电容真空规是陶瓷膜片型真空压强测量高精度器件。陶瓷是一种公认的高弹性、抗腐蚀、抗磨损、抗冲击和振动的材料。陶瓷的热稳定性可以使它的工作温度范围高达-40～125℃，而且具有测量精度较高、稳定性较好、抗过载能力较强等特点。
CFG500系列薄膜电容真空规采用双片圆形薄陶瓷片封装成背压恒定的密封腔，当测量面出现真空负压时，陶瓷片呈弯弯形变，前置陶瓷片与背景陶瓷片间距发生变化导致平行电极间电容发生变化，通过测量电容变化计算电极间距离变化，通过陶瓷弹性形变进而传感出真空压强。
采用机械形变传感真空压强，测量结果不受气体种类影响。
氧化铝陶瓷与氟系密封件，适用于多种腐蚀性、氧化性环境。
陶瓷材料形变恢复无迟滞，长期稳定性较好。
CFG500可作为独立仪表使用，也可连接控制器或电脑进行数据采集与控制。
通过+24VDC电源适配器供电，即可作为便携式真空计使用。
可与150真空计控制器直接连接，实现面板安装或台式使用。
通过RS485转USB转换器连接电脑，安装GaugeReader软件进行实时监测。
可通过模拟电压输出或RS485 Modbus-RTU协议与PLC集成。
| 参数 | 数值 / 说明 |
|---|---|
| 测量范围 | 1 Pa ~ 1.0×10⁵ Pa（约 1000 mBar） |
| 测量精度 | ±0.25 % 读数 |
| 测量重复性 | ±0.1 % 全量程 |
| 测量分辨率 | 0.002 % 全量程 |
| 长期稳定性 | 每年变化 ≤ 满量程 ±0.5 %（不含环境变化因素） |
| 温度补偿范围 | -20°C ~ +80°C，±0.01 % FS/°C |
| 工作环境 | -10°C ~ +50°C；相对湿度 5% ~ 85%，不结露 |
| 供电电源 | +24 VDC（±20%），功耗 ≤ 0.5 A 适用电压范围：+5.0 VDC ~ +32 VDC |
| 电接口插座 | D-Sub 15 Pin（公头） |
| 真空接口 | 默认 DN16 ISO-KF（其他接口可定制） |
| 最大承压 | 1.5×10⁵ Pa（约 1.5 Bar） |
| 重量 | 约 250 g（含 DN16 ISO-KF 法兰） |
注：
| 应用场景 | 推荐型号 | 理由 |
|---|---|---|
| 粗真空测量（如真空包装、干燥） | CFG500-1000mBar | 量程宽，适合大气压至中真空范围 |
| 中真空过程控制（如镀膜、烧结） | CFG500-100mBar | 精度较高，适合工艺过程监测 |
| 高真空前级测量（如分子泵前级） | CFG500-10mBar | 适用于较低压力测量，响应快 |
| 测量精度 | ±0.25% |
|---|---|
| 重复性 | ±0.1% |
| 反应时间 | <10 ms |
| 测量范围 | 小量程1pa~2000pa 大量程1000~100000pa |
| 耐压 | 3.0×10⁵ Pa（三个大气压） |
| 工作环境 | -10℃～+50℃；5～85% RH，不结露 |
| 信号输出 | 模拟量输出0.0～10.0VDC；RS485 Modbus-RTU；2路可设置控制开关 |
| 供电电源 | 4±5 VDC，整机最大功耗1.0W |
| 真空接口 | 默认DN16 ISO-KF，支持定制 |
| 接液材质 | SS304不锈钢，氧化铝陶瓷，氟橡胶 |
注：以上参数为标准配置，可根据客户需求定制特殊规格产品。
CFG500系列薄膜电容真空计广泛应用于需要高精度、高稳定性真空测量的工业与科研领域。
用于PVD、CVD、刻蚀等工艺腔室的真空度监测。
用于冻干机、灭菌柜、隔离器等设备的真空控制。
用于材料研究、真空镀膜、表面分析等实验装置。
用于真空炉、钎焊炉、烧结炉的工艺压力控制。
用于真空吸引、呼吸机、麻醉机等医疗真空系统。
用于锂电池注液、真空干燥等工艺的真空监测。
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