直接测量流体质量流量的精密仪器，适用于气体和液体的精确计量与控制。
直接测量质量流量，精度高，重复性好，量程比宽
316L不锈钢材质，适用于各种腐蚀性介质
响应速度，实时监测流量变化
小巧体积，节省安装空间，适合各种设备集成
微型科氏质量流量计/控制器可以对流体介质的质量流量进行精确的测量和精密的控制。它们在半导体和集成电路工业、特种材料学科、化学工业、石油工业、医药、环保和真空多种领域的科研和生产中有着重要的作用。其典型的应用场合包括：电子工艺设备，如扩散、外延、CVD、氧化、等离子刻蚀、溅射、离子注入；以及镀膜设备、光纤熔炼、微反应装置、混气配气系统、毛细管测量、气相色谱仪及其他分析仪器。
直接测量质量流量，精度高，对流体介质的温度、压力和粘度等不敏感
重复性好，量程比宽，适用于各种流体介质
适用于电子工艺设备、镀膜设备、光纤熔炼、微反应装置等高端应用
微型科氏质量流量计/控制器由流量管、陶瓷震荡器、光电信号拾取器、电阻温度计、电信号处理单元、显示单元和电磁控制阀等组成，信号拾取器1位于流量输入端，信号拾取器2和3位于流量输出端.信号拾取器1和2相对于流量管中轴对称。
科氏质量流量控制器开机后流量管被陶瓷震荡器激励做自激振荡，直至平衡。此时三个信号拾取器处将持续产生正弦波电压信号。当流体介质没有流动时，三个流量管信号拾取器所在位置没有相对形变，没有产生科里奥利力，产生的正弦波电压信号相位差为0.当流体介质流动时，信号拾取器1和2处产生的科里奥利力方向相反，使流量管产生扭曲运动，从而使信号拾取器1和2处所产生的正弦波电压信号相位差不为0，由于相位差和质量流量成正比，根据之前标定的数据计算出质量流量。而信号拾取器3用于相位补偿。
流量控制采用PID算法控制电磁阀，精确并快速的控制流量管中的流体质量流量达到设定值。
微型科氏质量流量计/控制器提供多种型号，满足不同应用场景的需求：
| 产品类型 | 型号代码 | 量程范围 | 精度 | 主要应用 |
|---|---|---|---|---|
| 质量流量计 | CX-CMFM-CS-F1 | 0-30 kg/hr | ±0.5% FS | 实验室研究、分析仪器 |
| 质量流量计 | CX-CMFM-CS-F2 | 0-50 kg/hr | ±0.5% FS | 半导体工艺、特种材料 |
| 质量流量计 | CX-CMFM-CS-F3 | 0-100 kg/hr | ±0.5% FS | 化工过程、石油工业 |
| 质量流量计 | CX-CMFM-CS-F4 | 0-300 kg/hr | ±0.5% FS | 工业批量生产、环保监测 |
| 质量流量控制器 | CX-CMFC-CS-F1 | 0-30 kg/hr | ±0.5% FS | 精密配气、科研实验 |
| 质量流量控制器 | CX-CMFC-CS-F2 | 0-50 kg/hr | ±0.5% FS | CVD、等离子刻蚀、溅射 |
| 质量流量控制器 | CX-CMFC-CS-F3 | 0-100 kg/hr | ±0.5% FS | 光纤熔炼、微反应装置 |
| 质量流量控制器 | CX-CMFC-CS-F4 | 0-300 kg/hr | ±0.5% FS | 混气配气系统、工业控制 |
注：以上为标准型号，可根据客户需求定制特殊量程、精度、接口和材质。所有产品出厂通常用气体氮气(N₂)液体水(HO₂)标定，如需要使用其他气体标定，请在订货时说明。
选择适合的微型科氏质量流量计/控制器时，请考虑以下因素：
| 考虑因素 | 选择要点 | 建议 |
|---|---|---|
| 流量范围 | 根据实际应用的最大和最小流量确定 | 选择量程比实际最大流量稍大的型号 |
| 介质类型 | 气体或液体，腐蚀性或非腐蚀性 | 根据介质选择相应的密封材料和接头材质 |
| 精度要求 | 根据工艺要求的控制精度确定 | 常规应用选择±0.5%，高精度应用可选择更高等级 |
| 压力条件 | 工作压差和最大耐压 | 确保产品耐压高于系统最大压力 |
| 控制需求 | 只需测量还是需要控制 | 测量选择CMFM，控制选择CMFC |
| 接口类型 | 电气接口和气路接头 | 确保与现有系统兼容 |
温馨提示：如果您不确定如何选择合适的型号，我们的技术团队可以提供免费的选型咨询服务。请提供您的应用场景、介质特性、流量范围、压力条件和精度要求等信息。
| 量程范围 | 0~300kg/h |
|---|---|
| 重复精度 | ±0.1% FS |
| 耐压 | 3.0 MPa |
| 线性 | ±0.1~0.5% FS |
| 工作压差 | 0.1~0.5 MPa |
| 工作环境温度 | 0~70℃ |
| 准确度 | ±0.5% FS（气） ±0.25% FS（液） |
| 数字量接口 | RS485 MODBUS协议 |
| 供电 | DC +24V |
| 电气连接 | DB15 |
| 漏率 | 1×10⁻⁸ SCCS He |
| 底座材质 | 16L不锈钢 |
| 密封材质 | 氟橡胶，丁晴橡胶，氯丁橡胶 |
| 气路接头 | Φ3，Φ6，Φ10，1/8〞,1/4〞，3/8〞 |
注：以上参数为标准配置，可根据客户需求定制特殊规格产品。
微型科里奥利质量流量计/控制器广泛应用于各种工业领域，特别适合需要精密流量测量和控制的场合。
用于扩散、外延、CVD、氧化、等离子刻蚀、溅射、离子注入等电子工艺设备
用于化工过程控制、反应釜加注、混气配气系统、微反应装置
用于制药过程中气体流量精密控制和监测
用于环境监测、废气处理系统中的气体流量测量
用于实验室研究、分析仪器、气相色谱仪、毛细管测量等科研场合
用于真空镀膜、真空炉等设备中的气体流量控制
用于光纤熔炼过程中的精密气体流量控制
用于特种材料学科研发与生产中的气体流量精确测量和控制
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