结合多种测量技术的真空测量设备,覆盖从低真空到高真空的广泛测量范围。
集成皮拉尼与热阴极技术,适用于宽量程真空测量,具备数字显示、模拟输出、RS485通讯及双路控制开关功能。
集成皮拉尼与冷阴极技术,适用于从低真空到高真空的全量程精密测量。
反置磁控型皮拉尼冷阴极复合真空计,适用于1.0×10⁻⁵ Pa至1.0×10⁵ Pa量程,支持模拟输出、数字通讯与可编程控制开关。
集成 MEMS 压电与皮拉尼传感器,适用于真空锁控制、连续真空工艺等应用场景。