结合多种测量技术的真空测量设备，覆盖从低真空到高真空的广泛测量范围。
压电与皮拉尼复合设计，测量范围从大气压到高真空（5.0×10⁻² ~ 1.5×10⁵ Pa）
响应时间 ≤100 ms，适用于动态真空控制场合
支持两个独立可设定控制点，提供光耦或逻辑电平输出可选
内置温度补偿，提升测量稳定性
CX-PRN11 是一款集成了 MEMS 压电传感器与皮拉尼传感器的复合宽量程真空计。该产品适用于从大气压到高真空（0.05 Pa）的连续测量，具备高精度、快速响应和良好的重复性，专为真空锁控制、连续真空工艺设备等应用场景设计。
压电与皮拉尼传感器在测量上实现无缝切换，覆盖宽泛的真空度范围。
支持两个独立控制点，可通过软件设定并输出开关信号。
支持 RS485（Modbus-RTU）通讯与模拟电压输出，方便系统集成。
CX-PRN11 通过 MEMS 压电传感器测量较高压力段（大气压至中真空），通过皮拉尼传感器测量中低真空段。两种传感器信号经内部电路融合处理，实现全量程连续输出。
| 引脚 | 信号 | 说明 |
|---|---|---|
| 1 | 电源 GND | 供电接地 |
| 2 | 设定值输出 A | 控制点 A 输出 |
| 3 | 设定值输出 B | 控制点 B 输出 |
| 4 | 模拟量输出 | 0.0 ~ +10.3 VDC，对应真空度 |
| 5 | RS485 D- (B) | Modbus 通讯线 |
| 8 | 模拟量参考地 | 模拟输出参考地 |
输出电压 U（单位 V）与压力 P（单位 Pa）的换算公式：
P = 10 ^ ((U - C) / 1.286)，其中 C 为常数，与单位相关：
CX-PRN11压电皮拉尼复合宽量程真空计提供多种配置选项，用户可根据具体应用需求选择不同的真空接口、通讯方式和控制点输出类型。
CX-PRN11的型号由基础型号和三位配置代码组成：
| 配置类型 | 代码 | 说明 | 适用场景 |
|---|---|---|---|
| 真空接口 | A | KF16 (DN 16 ISO-KF) | 标准实验室系统 |
| B | KF25 (DN 25 ISO-KF) | 中等流量真空系统 | |
| C | 1/8" NPT | 北美标准系统 | |
| D | VCR4 | 超高洁净系统（半导体） | |
| E | VCR8 | 大流量超高洁净系统 | |
| 数字通讯 | 0 | 无数字通讯 | 仅模拟输出应用 |
| 1 | RS485 (Modbus-RTU) | 工业自动化集成 | |
| 控制点输出 | 00 | 无控制开关 | 仅监测应用 |
| 01 | 标配光耦开关 | 通用控制应用 | |
| 02 | 标配逻辑电平 | PLC直接接口 | |
| XX | 客户定制模式 | 特殊应用需求 |
| 型号 | 真空接口 | 通讯方式 | 控制点输出 | 典型应用 |
|---|---|---|---|---|
| CX-PRN11 A01 | KF16 | RS485 | 光耦开关 | 标准实验室真空系统 |
| CX-PRN11 B01 | KF25 | RS485 | 光耦开关 | 中等流量工业系统 |
| CX-PRN11 C02 | 1/8" NPT | RS485 | 逻辑电平 | 北美标准工业系统 |
| CX-PRN11 D01 | VCR4 | RS485 | 光耦开关 | 半导体真空锁 |
| CX-PRN11 A00 | KF16 | RS485 | 无控制开关 | 纯监测应用 |
CX-PRN11真空计的接液部分提供多种材质选项，以适应不同介质和工艺环境：
| 材质 | 材质名称 | 特性 | 适用介质 |
|---|---|---|---|
| SS304 | 304不锈钢 | 标准耐腐蚀、经济实用 | 一般工业气体、干燥空气 |
| SS316L | 316L不锈钢 | 高耐腐蚀性、低碳含量 | 腐蚀性气体、化学蒸气 |
| 可伐合金 | 铁镍钴合金 | 低热膨胀、玻璃封接 | 高温应用、特种玻璃系统 |
| 钨灯丝 | 钨材料 | 高温稳定性好 | 高真空、高温环境 |
| 玻璃 | 硼硅玻璃 | 高洁净、透明可视 | 实验室、光学系统 |
选择适合的CX-PRN11型号时，请考虑以下因素：
| 应用场景 | 推荐型号配置 | 理由 |
|---|---|---|
| 实验室真空系统 | CX-PRN11 A01 (SS316L) | 标准KF接口，RS485通讯，光耦控制点，316L材质耐腐蚀 |
| 半导体真空锁 | CX-PRN11 D01 (SS316L) | VCR4超高洁净接口，适用于半导体制造环境 |
| 工业过程控制 | CX-PRN11 C02 (SS304) | NPT接口，逻辑电平输出，便于PLC直接控制 |
| 科研高真空系统 | CX-PRN11 A01 (可伐合金) | 可伐合金材质适合高温和玻璃封接应用 |
| 仅监测无控制 | CX-PRN11 A00 | 无控制开关，仅用于真空度监测和数据采集 |
温馨提示：以上型号为常见配置示例，上海瓷熙仪器仪表有限公司支持定制化配置服务。如果您有特殊需求，如特殊接口、定制通讯协议或其他特殊要求，请联系我们的技术团队获取定制化解决方案。
| 重复性 | ±1% |
|---|---|
| 环境温度 | 0~50℃ |
| 真空接口 | KF16 |
| 测量范围 | 5.0×10⁻²~1.5×10⁵Pa |
| 响应时间 | ≤100 ms |
| 精度 | 3.0×10³ ~ 1.5×10⁵ Pa: ±1% 读数（MEMS压阻段） 1.0×10⁰ ~ 3.0×10³ Pa: ±15% 读数（皮拉尼段） 5.0×10⁻² ~ 1.0×10⁰ Pa: ±20% 读数（皮拉尼段） |
| 最大耐压 | 2.0×10⁵ Pa（绝对压力） |
| 信号输出 | RS485 Modbus-RTU（默认 9600 bps） 模拟电压 0.0 ~ +10.3 VDC 双控制点输出（光耦或逻辑电平可选） |
| 供电电压 | +16VDC ~ +30VDC，功耗 ≤1.5W |
| 接触真空材质 | SS304, SS316L，可伐合金，钨灯丝，玻璃 |
注：以上参数为标准配置，可根据客户需求定制特殊规格产品。
CX-PRN11 适用于各类需要宽量程、快速响应真空度监测与控制的工业与科研场合。
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