直接测量流体质量流量的精密仪器，适用于气体和液体的精确计量与控制。
采用热式原理设计和传感技术，确保流量测量精度高达±0.5%
零漂小，可靠性高，适用于各种气体介质
毫秒级响应速度，实时监测流量变化
小巧体积，节省安装空间，适合各种设备集成
高精度气体质量流量计/控制器由质量流量传感器、层流分层件、流量控制器调节阀和放大控制电路等部件组成。它利用流动流体传递热量改变测量毛细管壁温度分布的热传导分布效应而制成，采用毛细管传热前后温度差量热法原理测量气体的质量流量，不受温度压力的影响。
准确度±0.5%F.S，线性±0.5%F.S，重复精度±0.2%F.S
控制器响应时间<0.25s，流量计响应时间<0.15s
高分辨率LCD触摸屏，直观操作，界面友好
气体质量流量控制器卓越的精度、坚固性及可靠性源于独特的传感器探头。该密封探头由两个传感元件组成——流量传感器及温度传感器，能自动校正温度及压力变化产生的影响。仪表电路将流量传感器加热到高于气体温度的一个常数值，然后测量气体流量的冷却效果。通过测量保持恒定温差所消耗的电功率与气体的质量流量成正比的原理计算流量。
质量流量控制器、质量流量计出厂时一般用空气或者氮气标定，实际使用中如果是其他气体，必要时可进行读数修正，方法是以流量显示仪显示的流量乘以流量转换系数。
| 气体 | 代号 | 转换系数 | 气体 | 代号 | 转换系数 |
|---|---|---|---|---|---|
| 空气 | 008 | 1.006 | 氮气 | 001 | 1.415 |
| 氩气 | 004 | 1.415 | 氮气 | 013 | 1.000 |
| 氧气 | 015 | 0.992 | 氢气 | 007 | 1.010 |
| 二氧化碳 | 025 | 0.737 | 甲烷 | 028 | 0.719 |
| 氨气 | 029 | 0.719 | 氦气 | 002 | 1.415 |
注：以上为部分常用气体的转换系数，完整的气体转换系数表请参考产品说明书。对于混合气体，其转换系数需按特定公式计算。
触摸屏气体质量流量控制器提供多种型号，满足不同应用场景的需求：
| 量程类型 | 型号代码 | 量程范围 | 精度 | 接头类型 |
|---|---|---|---|---|
| 低量程流量控制器 | CX-GMFC-CP-F1 | 0 ~ 100SCCM | ±0.5% F.S | φ3, φ6, 1/8", 1/4" |
| 低量程流量控制器 | CX-GMFC-CP-F2 | 100SCCM ~ 30SLM | ±0.5% F.S | φ3, φ6, 1/8", 1/4" |
| 中量程流量控制器 | CX-GMFC-CP-F3 | 30SLM ~ 150SLM | ±0.5% F.S | φ8, φ10, φ12 |
| 中量程流量控制器 | CX-GMFC-CP-F4 | 150SLM ~ 300SLM | ±0.5% F.S | φ8, φ10, φ12 |
| 大量程流量控制器 | CX-GMFC-CP-F5 | 300SLM ~ 1000SLM | ±0.5% F.S | φ12, 法兰 |
| 大量程流量控制器 | CX-GMFC-CP-F6 | 1000SLM ~ 2000SLM | ±0.5% F.S | φ12, 法兰 |
| 大量程流量控制器 | CX-GMFC-CP-F7 | 2000SLM ~ 3000SLM | ±0.5% F.S | φ12, 法兰 |
触摸屏气体质量流量计提供多种型号，满足不同应用场景的需求：
| 量程类型 | 型号代码 | 量程范围 | 精度 | 接头类型 |
|---|---|---|---|---|
| 低量程流量计 | CX-GMFM-CP-F1 | 0 ~ 100SCCM | ±0.5% F.S | φ3, φ6, 1/8", 1/4" |
| 低量程流量计 | CX-GMFM-CP-F2 | 100SCCM ~ 30SLM | ±0.5% F.S | φ3, φ6, 1/8", 1/4" |
| 中量程流量计 | CX-GMFM-CP-F3 | 30SLM ~ 150SLM | ±0.5% F.S | φ8, φ10, φ12 |
| 中量程流量计 | CX-GMFM-CP-F4 | 150SLM ~ 300SLM | ±0.5% F.S | φ8, φ10, φ12 |
| 大量程流量计 | CX-GMFM-CP-F5 | 300SLM ~ 1000SLM | ±0.5% F.S | φ12, 法兰 |
| 大量程流量计 | CX-GMFM-CP-F6 | 1000SLM ~ 2000SLM | ±0.5% F.S | φ12, 法兰 |
| 大量程流量计 | CX-GMFM-CP-F7 | 2000SLM ~ 3000SLM | ±0.5% F.S | φ12, 法兰 |
注：以上为标准型号，可根据客户需求定制特殊量程、精度、接口和材质。所有产品出厂通常用氮气(N₂)标定，如需要使用其他气体标定，请在订货时说明。标准状态规定为：温度---273.15K (0℃); 气压---101325 Pa (760mm Hg)。
选择适合的触摸屏气体质量流量计/控制器时，请考虑以下因素：
| 考虑因素 | 选择要点 | 建议 |
|---|---|---|
| 流量范围 | 根据实际应用的最大和最小流量确定 | 选择量程比实际最大流量稍大的型号 |
| 气体类型 | 气体种类，腐蚀性或非腐蚀性 | 根据气体选择相应的密封材料和转换系数 |
| 控制需求 | 只需测量还是需要控制 | 测量选择M(流量计)，控制选择C(控制器) |
| 压力条件 | 工作压差和最大耐压 | 确保产品耐压高于系统最大压力 |
| 信号输出 | 模拟量或数字量接口 | 根据控制系统要求选择 |
| 安装环境 | 空间限制，操作便利性 | 触摸屏便于现场操作和监控 |
温馨提示：使用气体必须净化，切忌粉尘、液体和油污。必要时加装过滤器，如果流量控制器出口接有液体源瓶，应在流量控制器出口加装单向阀，防止液体回流损坏流量控制器。如果您不确定如何选择合适的型号，我们的技术团队可以提供免费的选型咨询服务。
| 测量精度 | ±0.5%F.S |
|---|---|
| 工作温度 | 0 ～ 50℃ |
| 流量范围 | 0~3000SLM |
| 测控范围 | 控制器阀控范围 50：1 流量计量程比 100：1 |
| 数字量 | RS232/485，MODBUS 协议 |
| 模拟量 | 0 ～ 5V、4-20mA、1 ～ 5V |
| 最大耐压 | 3MPa/10MPa |
| 电气连接 | DB9、RJ11、5.5×2.1电源快插 |
| 漏率 | 1×10-9SCCSHe |
| 底座材质 | 316L |
| 密封材质 | 氟橡胶，氯丁橡胶，丁腈橡胶 |
| 接头 | φ3，φ6，1/8"，1/4" |
注：以上参数为标准配置，可根据客户需求定制特殊规格产品。
高精度气体质量流量计/控制器广泛应用于各种工业领域，特别适合需要精密气体流量测量和控制的场合。
用于扩散、外延、CVD、氧化、等离子刻蚀、溅射、离子注入等工艺
用于化工过程控制、反应釜加注、混气配气系统
用于制药过程中气体流量精密控制和监测
用于环境监测、废气处理系统中的气体流量测量
用于实验室研究、分析仪器、气相色谱仪等
用于真空镀膜、真空炉等设备中的气体流量控制
用于太阳能电池板制造过程中的气体流量精确控制
用于呼吸机、麻醉机等医疗设备中的气体输送控制
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