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国产MFC告别“单一路径”:热式与压差式技术双线突破,赋能半导体与氢能产业

2026-01-15 12:49:06 小编

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在半导体制造和新能源等高端工业领域,气体质量流量控制器(MFC)的精度与稳定性直接关乎工艺成败与产品性能。长期以来,高端市场被国际巨头垄断,而近年来,国产MFC通过清晰的技术路径分化,正加速实现进口替代。

目前,国产MFC已形成 “热式”与“压差式”两大主流技术路线并行发展的格局。热式MFC响应速度快(可达毫秒级),在单一、洁净气体的精密控制场景(如半导体刻蚀)中地位稳固。而压差式(层流式)MFC 凭借其原理性的气体兼容性优势正快速崛起,它无需针对不同气体进行复杂标定,即可精确测量混合气体或腐蚀性气体(如氯气、氨气),因此在新能源(氢能、燃料电池)、环保监测、生物制药等新兴领域展现出巨大潜力。

市场动态显示,半导体产业的国产化替代和氢能经济的兴起是驱动MFC市场增长的双引擎。半导体设备对MFC的可靠性、一致性要求极为严苛,国产厂商正通过技术创新逐步打入供应链。同时,氢能的制、储、运、用各环节都离不开对气体流量的精密控制和测量,为国产压差式MFC提供了广阔的增量市场。