
在全球科技产业竞争和“双碳”目标驱动下,半导体、锂电池、光伏等高端制造业的投资持续高速增长,直接拉动了对高洁净度、高真空环境的核心设备——真空泵及真空计量的巨大需求。中国真空设备市场正处在一个规模扩张与国产替代共振的“黄金窗口期”。
市场数据显示,2025年中国真空设备市场规模已达约680亿元,其中半导体和新能源(锂电、光伏)是增长最快的两大引擎。以半导体为例,制造过程中的刻蚀、离子注入、薄膜沉积等关键步骤均需在真空环境下进行,对真空泵的抽速、极限真空度及可靠性要求极高。2025年,国产半导体用真空泵的市场占有率已提升至约31%,并获得了一些头部客户的认可。
技术前沿体现在干式泵技术的普及(避免油污染)、极限真空度的不断提升(如分子泵可达10⁻5 Pa量级),以及从 “单机销售”向“系统集成+数据服务”的生态跃迁。未来,具备提供智能化真空解决方案、远程运维和全生命周期服务能力的企业,将在竞争中占据更有利的位置。